3D光學非接觸輪廓粗糙度儀
簡要描述:
瑞士TRIMOS TR-scan3D光學非(fei)接(jie)觸輪廓粗(cu)糙度(du)儀具(ju)有完善的(de)分析功能模塊(kuai),對其表面(mian)形貌進行輪廓、面(mian)積(ji)、體積(ji)、粗(cu)糙度(du)、截面(mian)等(deng)測(ce)量。
產品時(shi)間:2020-06-30
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀產品介紹:
Trimos TRscan非接觸(chu)式刀(dao)(dao)具微觀形貌(mao)測(ce)(ce)量(liang)儀,全(quan)自動(dong)共(gong)(gong)焦三(san)(san)維測(ce)(ce)量(liang)。于刀(dao)(dao)具制(zhi)造工(gong)業,根據(ju)多點(dian)譜(pu)線(xian)共(gong)(gong)焦,一次(ci)(ci)入射200束光到(dao)工(gong)件(jian)表面(mian),在(zai)每束光路上(shang)自動(dong)聚焦,快速獲(huo)得刀(dao)(dao)具表面(mian)三(san)(san)維形貌(mao),采用此(ci)次(ci)(ci)多點(dian)譜(pu)線(xian)共(gong)(gong)焦傳(chuan)感器和(he)圖像處(chu)理系統,可以對(dui)各(ge)種復(fu)雜的(de)刀(dao)(dao)刃及其(qi)模(mo)具進(jin)行(xing)準(zhun)確的(de)測(ce)(ce)量(liang),具有完善的(de)分析(xi)功(gong)能模(mo)塊(kuai),對(dui)其(qi)表面(mian)形貌(mao)進(jin)行(xing)輪(lun)廓、面(mian)積、體積、粗糙度、截面(mian)等測(ce)(ce)量(liang)。
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀特點:
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強大(da)的多點(dian)共焦技術,zui準確的測量出表面形貌(mao)數據(角度(du)、半徑(jing)、輪廓、粗糙度(du))
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通(tong)過光學方(fang)式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shu)
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測量速度快,可整合(he)成(cheng)一個高效的在線測量系(xi)統
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適用于(yu)陡峭的斜面,爬坡角度(du)高達85度(du)
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垂(chui)直(zhi)分辨(bian)率高(gao)達30nm
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TRSCAN是*可同(tong)時獲得表面形(xing)貌和真實顏(yan)色(se)信息的3D測量(liang)設備(bei),測量(liang)更加精確靈活
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通過(guo)腳(jiao)本自動測量,更適用于批量測量,并生成圖(tu)形或(huo)數字報告
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粗(cu)糙度和輪廓測量符合(he)*EN/ISO4287標準
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可(ke)用于(yu)選定(ding)區域的(de)面積及體積計算
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可(ke)選配(pei)轉臺,實現三(san)維掃面
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可(ke)用于復雜幾何外形的(de)形狀(zhuang)分析,可(ke)測量(liang)角度、半徑等表面特征(zheng)
技術參數:
工作臺(tai)移動范圍X | 100mm | ||
工作(zuo)臺移動范圍(wei)Y | 固定式 | ||
工作臺移動范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小位(wei)移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位(wei)精(jing)度(du) | 1μm | ||
XY軸導軌直線(xian)度 | 1.5μm | ||
工件zui大重量 | 20kg | ||
測量(liang)原理 | 非接觸式多點譜線共焦傳感(gan)器 | ||
光源 | 白(bai)色(se)LED共軸光(guang),高強光(guang),數字可控(kong) | ||
色譜共(gong)焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線(xian)寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光(guang)斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光(guang)斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡(po)坡(po)度(du) | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度(du)zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |